
Bayerischer
Forschungsverbund für Nanoelektronik (FORNEL)
Mitarbeiter:
Die akademischen Partner des
Verbundes Nanoelektronik setzen sich aus Universitäts-Lehrstühlen und
einem Fraunhofer-Institut aus dem nord- und südbayerischen Raum
zu-sammen. Vertreten sind die Städte Erlangen, München und Würzburg:
Erlangen:
Lehrstuhl für Technische Physik
Universität Erlangen-Nürnberg
Prof. Dr. L. Ley
Lehrstuhl für Elektronische Bauelemente
Universität Erlangen-Nürnberg
Prof. Dr. H. Ryssel
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie
(IISB)
Prof. Dr. H. Ryssel
München:
Lehrstuhl für Technische Elektronik
TU München
Prof. Dr. D. Schmitt-Landsiedel
Fachgebiet Halbleiterproduktionstechnik, Lehrstuhl für Technische
Elektronik
TU München
Prof. Dr. W. Hansch
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
TU München
Prof. Dr. G. Wachutka
Lehrstuhl für Mikrosystemtechnik
Universität der Bundeswehr München
Prof. Dr. I. Eisele
Würzburg:
Lehrstuhl für Technische Physik
Universität Würzburg
Prof. Dr. A. Forchel
Die Industriepartner des
Verbundes setzen sich aus folgenden Firmen zusammen:
ATV Technologie GmbH, Vaterstetten
Coherent GmbH, München
Freescale Halbleiter Deutschland GmbH, München
Infineon Technologies AG, München
KETEK GmbH, München
Mattson Thermal Products GmbH, Dornstadt
nanoplus GmbH, Gerbrunn
Siltronic AG, Burghausen
Süss MicroTec AG, Garching
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