Bayerischer Forschungsverbund für Nanoelektronik (FORNEL)


Projekte:

Themenbereich I: Nanostrukturen
Teilprojekt I.1:    Atomar-selbstregelnde Abscheidung von Siliziumnitridschichten
Teilprojekt I.2:    Atomar kontrollierte Synthese von alternativen Gate-Dielektrika
Teilprojekt I.3:    Photonenaktivierte Reinigungs- und Abscheideprozesse
Teilprojekt I.4:    Nanoimprint-Lithographie

Themenbereich II: Nanobauelemente und –schaltungen
Teilprojekt II.1:    Quantenmechanische und ballistische Nanobauelemente auf Siliziumbasis
Teilprojekt II.2:    Analogschaltungen mit Tunneltransistoren
Teilprojekt II.3:    Nanotransistoren auf der Basis ballistischer Y-Schalter

Themenbereich III: Querschnittsthema Simulation
Teilprojekt III:    Physikalische Modellierung und numerische Simulation von Nanostrukturen


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